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Energetiq白光光源

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所屬品牌:Energetiq

现有產品簡介:Energetiq提供各種白光光源如:自定義光譜光源,超亮度白光光源,激光驅動可調諧光源,激光驅動光源,極紫外光源等。

Energetiq采用突破性專利技術生產先進的下一代光源,包括我們的超亮激光驅動光源(LDLS®)和無電極Z-Pinch™EUV源。我們的白光光源在寬光譜範圍內產生高亮度,從柔和的x射線到最深的紫外線,通過可見光和近紅外,並在可靠、緊湊的封裝中提供高效的光收集。


自定義光譜光源CSE --Chromatiq Spectral Engine™(CSE)是一種系統級光源,可提供對發射光的光譜含量的精確控制。用戶可以模擬真實世界的照明條件,組合來自多個來源的光譜,並塑造自定義光譜,以滿足特定的測試和校准需求。

CSE提供無與倫比的光譜匹配精度、可重複性和速度,以優化生產環境中的光學測試和校准程序。光譜可以在不到10ms的時間內切換,以節省時間並提高工藝吞吐量。

CSE可以複制任何可見光光源的光譜,例如日光、LED、任何荧光燈、白炽燈、氙燈……;CSE也可以自定義輸出光譜曲線,以滿足特定的測試和校准需求。

技術指標

型號

CSE-EQ-99-VIS

CSE-EQ-99-VIS-NIR

波長範圍

380~780nm

380~1100nm

光譜分辨率

<5mm

<5mm

切換速度

<10ms

<10ms

輸出類型

6.5mm液體光導

6.5mm液體光導

規格書
CSE-EQ-99-VIS_Data_Sheet.pdf

CSE-EQ-99-VIS-NIR_Data_Sheet.pdf

 

激光驅動光源(LDLS®)高亮度、寬帶光源

Energetiq LDLS光源可實現高效的深紫外到近紅外生產,用于最先進的照明應用。

傳統的方法使用弧光燈和放電來實現亮度、紫外線功率和燈的壽命,但這種方法限制了你能走多遠。

獲得專利的LDLS技術可產生極小、高亮度的等離子體,提供終極高效的光收集和從最深的紫外線到可見光再到近紅外的寬光譜範圍

技術指標

型號

EQ-99X

EQ-99X-FC

EQ-99X-CAL

EQ-77X

EQ-77C

EQ-400

波長範圍

170nm~2500nm

190nm~2500nm

200nm~800nm

170nm~2500nm

160nm~20,000nm

170nm~2500nm

等離子體尺寸(FWHM)

100 µm x 180 µm

100 µm x 180 µm

/

125 µm x 380 µm

~225 µm

370 µm x 800 µm

數值孔徑

0.47

0.22

/

0.5

/

0.5

燈泡壽命

10,000小時

10,000小時

/

10,000小時

10,000小時

10,000小時

特點

體積小,經濟

光纖耦合輸出

寬帶校准源

極高亮度

超寬波長範圍

超高光射

 

激光驅動可調諧光源(LDTLS®)

在窄帶中提供高光輸出的波長可調諧光源

用于傳感器校准和連續、高吞吐量應用

Energetiq LDTLS®緊湊型光源可讓您擺脫波長限制,在最寬的光譜範圍內進行快速、可重複和精確的測量。

激光驅動可調諧光源(LDTLS®)圍繞我們的激光驅動光源(LDLS®)技術構建,通過光纖耦合輸出的便利性,您可以獲得寬波長範圍的可調諧性、高光譜分辨率和超長壽命。LDTLS具有精確的高性能單色儀,用于精確的波長選擇和可重複的光輸出。

技術指標

型號

TLS-EQ-9-S

TLS-EQ-77-S

TLS-EQ-77-UV

TLS-EQ-77-NIR

波長範圍

380~1100nm

350~1100nm

200~770nm

800~1700nm

波長精准度

±0.5nm

±0.5nm

±0.5nm

±0.5nm

掃描速度

<20ms for a 2nm step

常規光輸出端

1500µm芯徑光纜

1500µm芯徑光纜

600µm芯徑光纜

1500µm芯徑光纜

數值孔徑(NA)

0.39

0.39

0.39

0.39

光譜分辨率(FWHM)

用戶可選:1.0~8.0nm

6.5nm

4.7nm

9nm

激光等級

Class 1 (IEC 60825: 2014)

最大帶內通量

2.37 mW at 824 nm

4.9 mW at 400 nm

1.6 mW at 300 nm

1.62 mW at 920 nm

平均帶內通量

~1.20 mW

~2.3 mW

~1.1 mW (200 nm - 500 nm)

~0.44 mW

特點

中端、靈活的TLS,具有可配置的分辨率

定制單色儀和快速波長調諧

紫外線波長範圍內的高輻射單色光

近紅外(NIR)波長範圍內的單色光

 

極紫外光源

使用無電極的緊湊、可靠的EUV

Z-Pinch™技術, 易于集成的模塊化設計

Energetiq獨特設計的EUV極紫外光源可最大限度地減少熱負荷並減少碎片,使您能夠在緊湊的模塊化單元中控制峰值亮度和峰值功率。

半導體光刻、掩模毛坯檢測、材料研究和生命科學研究等領域的進步依賴于在深紫外和x射線區域(10至50nm)之間產生輻射的基于等離子體的光源。傳統的產生極端紫外線的方法使用電極,電極會產生熱量並產生不需要的碎片——不適合生產環境。

Energetiq的無電極Z-Pinch™EUV極紫外電源采用專利設計,將電流感應耦合到等離子體中,以清潔、涼爽的方式產生超短波長的紫外線輻射。模塊化設計提供了高啓動時間和現場驗證的可靠性,並具有用戶控制輸出的靈活性,以優化功率和亮度。

技術指標

型號

EQ-10R

EQ-10R-HP

EQ-10R-SXR

典型輸出功率

10W*

20W*

400mW+

典型亮度

5 W/mm².sr

8 W/mm².sr

N/A

脈沖速率

達到2kHz

達到2.5kHz

達到2kHz

目標氣體

應用

研發

計量學,顯微鏡

水窗顯微鏡,光學測試

特點

用于EUV研發的高可靠性、高穩定性10瓦EUV電源

用于計量和測試的高亮度20瓦EUV光源

半導體計量和水窗口顯微鏡

 

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